放氣

氣體從材料中自然地解吸現象稱為放氣。在真空中放氣的主要來源是：

1．熔煉和鑄造過程中，空氣中的氫、氧、氮和碳的氧化物會不同程度的熔於材料中。

2．材料在大氣環境中存放時，表麵會吸附大量氣體，主要是水蒸氣、氧、氮和碳的氧化物等。

3．材料表麵的汙染物。

4．材料本身的非致密性引起的氣體滲透。

真空零部件的表麵汙染物有以下類型：

1．油脂，即加工、安裝、操作時沾染上的潤滑劑、真空油脂等。

2．水滴，操作時的手汗、人的哈氣等。

3．表麵氧化物，易氧化材料長期放置在空氣（特別是潮濕空氣）中所形成的表麵氧化物。

4．酸、堿、鹽類物質，清洗時的殘餘物質、手汗、自來水中礦物質等。

5．空中的塵埃和其他有機物。

放氣的影響

對一般真空設備來說，材料放氣是真空係統最主要的氣源，其主要影響如下：

1．影響真空室的極限壓力和工作壓力。

2．有些放氣會汙染係統，如汙染質譜檢漏儀的質譜分析室。

3．在真空機組停止抽氣後，造成真空室壓力升高。

4．影響真空泵的性能和壽命。

減少放氣影響的措施

為使真空係統在較短的抽氣時間內達到工作壓力，應盡可能減少放氣的影響，為此可采取如下措施：

1．選用放氣速率低的材料製做真空係統的零部件。不鏽鋼、鋁、玻璃是最適於高真空、超高真空中用的材料。

2．采用噴砂、機械拋光、電化學拋光等表麵處理措施，減少材料放氣麵積和清除汙染物。

3．采用三氯乙烯、四氯化碳、丙酮、汽油、乙醚等有機溶劑或堿液等化學清洗方法，以及電化學清洗、超聲波清洗方法清除汙染物。

4．係統抽氣時，采用烘烤方法加速材料放氣。

5．操作時盡可能注意縮短真空係統暴露大氣的時間。

6．真空係統停止運轉時，應在真空狀態下保存。